インフラ現況

インフラ現況

クリーンルーム

区分 面積 空調機 ヘパフィルター Blower Filter Unit
Clean room A 604 m² 1 6 1
Clean room B 3,164 m² 3 18 29
Clean room C 1,184.7 m² 2 14 10
Sum 4,952.7 m² 6 38 40

クリーンルームの特徴

クリーンルーム保管時の顧客の精密機器設備の特性を反映して、温度23度(±1)、 湿度50%(±5%)で温湿度を管理しており、 微細粉塵はパーティクル1,000class以下に清潔感を維持しています。 設計基準:0.5㎛基準10,000 class以下のメンテナンス:実際の1,000 class以下に清潔を維持

クリーンルームの写真

  • A棟

  • B棟

  • C棟